DXRL Publications

2005

  1. Low cost transparent SU-8 membrane mask for deep X-ray lithography
    Cabrini S., Pérennès F., Marmiroli B., Olivo A., Carpentiero A., Kumar R., Candeloro P., Fabrizio E.D.
    Microsystem Technologies, Vol. 11 - 4-5, pp. 370-373 (2005)
    doi: 10.1007/s00542-004-0473-5 (Journal Article)




 
Ultima modifica il Lunedì, 20 Maggio 2013 14:21